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11月底，中微半導體和美國MOCVD設備廠Veeco的專利糾紛逐漸發酵；12月初，海信夏普爭端再起，夏普被指LED液晶電視專利侵權……這些專利糾紛似乎都有一個相同點。由于受技術壁壘、競爭加劇等多因素的影響，很多企業或主動或被動打起了專利戰。

國內外MOCVD廠商對決，由來已久

國內外MOCVD廠商的對決多年來一直沒有停息過。MOCVD設備一直都是生產LED外延芯片的關鍵設備。由于技術含量高，MOCVD設備站在了LED行業價值鏈的頂端，MOCVD設備是專利技術密集型產業，而其核心技術大多掌握在美國Veeco和德國Aixtron等國外企業手中，并且多年以來這兩家企業占領了全球90%以上的MOCVD設備市場，其技術水平、規模效應、品牌效應、客戶資源等都達到了相當的高度。

Veeco和Aixtron在知識產權及其全球專利組合方面的保護一直十分堅決，這讓后續進入這一領域的國產MOCVD廠商寸步難行，要突破專利技術封鎖，建立自主創新的國產MOCVD核心技術并非易事。據了解，2016年國產MOCVD設備在國內市占率合計僅11%。

他們利用專利優勢來絞殺國產MOCVD設備商的發展，從而導致了十幾年來國內20多家陸續從事MOCVD的企業目前只剩下中微和中晟兩家。

雖然一直面對Veeco和Aixtron的共同絞殺，但中微和中晟兩家依然堅挺不屈。特別是近年來國產化的大力推進，國產MOCVD設備開始贏得了國內LED芯片廠商的認可，尤其是中微半導體，其MOCVD出貨量已突破100臺，華燦光電和三安光電是其最大客戶。目前，華燦光電對其采購量達到40臺，已獲交付34臺。

國際設備廠商在中國市場的份額逐漸被國產設備擠壓，并且在技術上也逐漸被國內設備廠商趕上。此前三安光電向Aixtron采購50臺腔LED主要生產設備CCS MOCVD SYSTEM AIX R6，最后由于不能完全滿足三安工藝需求而終止采購。如今Aixtron已經基本失去了競爭優勢，甚至在2016年，中國資本一度對Aixtron發起過收購，Aixtron的產品基本上已經出局，形成了國產設備只與Veeco產品競爭的有利格局。

如今中微和中晟兩家企業在專利技術上每年都不斷投入，比如中微。中微有一半以上的員工從事研發工作，而通過十年的發展和積累，中微已經申請了幾百余項國內外專利，涉及MOCVD的專利已超過百項，其中大部分專利已被授權。

專利技術上的突破使得國內MOCVD供應商不斷縮小與Veeco產品的技術差距，并依靠更好的性價比和更便利的售后服務逐漸得到客戶的認可，已經威脅到Veeco在中國市場的領先地位，導致其連續多年虧損和市場占有率的減少。面對國內廠商的強勢崛起，Veeco以專利武器打擊中微MOCVD供應商的出貨與使用。

中微半導體 、Veeco互告

早在2017年4月12日，Veeco在紐約東區的聯邦法院對SGL Carbon，LLC和SGL Carbon SE展開了專利侵權訴訟。SGL生產用于無基座MOCVD系統的晶圓承載器。除了臨時禁令之外，Veeco正在尋求永久性禁令以及經濟賠償等。

11月2日，有機金屬化學汽相沉積系統(MOCVD)設備大廠美國維易科(Veeco)宣布，美國紐約東區地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon，LLC(SGL)的一項初步禁令請求，該公司是中微半導體設備有限公司(AMEC)的晶圓承載器供應商。據統計，目前國內前三大LED芯片廠商今年采購的機臺里，Veeco和中微半導體各占一半。業內人士評論稱，此次禁令可能會讓中微損失不少。

該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專利技術的無基座金屬有機化學氣相沉積系統(MOCVD)使用的晶圓承載器，包括專為AMEC MOCVD系統設計的晶圓承載器。

Veeco公司董事長兼首席執行官John R. Peeler說：“這項裁決肯定了Veeco知識產權及其全球專利組合的實力。Veeco狠抓知識產權工作，并堅決維護其在研發方面的重大投資，包括其在美國，歐洲和亞洲的專利，特別是在中國。”

上述裁決立即生效，禁止SGL在未得到Veeco明確授權的情況下出貨采用了Veeco專利技術的晶圓承載器。這也意味著禁止SGL提供用于所有AMEC MOCVD系統的晶圓承載器。

法院還裁定，盡管SGL有相反的論點，Veeco公司有關“無基座MOCVD反應堆使用的Veeco晶圓載體專利受到SGL的侵犯且該專利有效”的聲稱得到認同的可能性很大。SGL曾經辯稱，其晶圓承載器是基于AMEC的規格。這項裁決顯示，AMEC不尊重Veeco的知識產權。

對于在美國Veeco禁令，中微則回應表示，首先，紐約東區地方法院法官在未能有機會全面了解專利無效證據、未對Veeco美國的專利有效性和基片托盤是否真正侵權作出明確判斷的情況下，罕見發出了禁止基片托盤供應商給中微提供托盤的臨時禁運令。

其次，中微表示，涉案的Veeco美國專利技術早在60年代開始就被大量前置專利公開，距今已有五十年歷史，因而，中微認為Veeco美國涉案專利不符合專利法要求，應屬無效專利。中微更進一步對該涉案專利的中國同族專利、韓國同族專利提交了專利宣告無效請求。

此外，中微也會采取多項有效措施，減少SGL遭禁令的影響。中微半導體表示將在三個方面推動解決上述問題：一是積極發展第二和第三渠道的供應商，預計一個月即可完成產品驗證，兩三個月即可解決批量問題，春節前即可恢復對客戶的石墨盤供應；二是SGL已在美國提起反訴，預計很快將取得進展；三是針對專利方面，公司已在中國對Veeco提起專利侵權訴訟。

中微半導體披露，其于今年7月向福建高院正式起訴 Veeco上海，指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利，要求其停止侵權并主張上億元侵權損害賠償。在中微半導體起訴后，Veeco上海對該中微半導體專利向專利復審委提起無效宣告請求。

11月24日，國家知識產權局專利復審委（簡稱“專利復審委”）作出審查決定，否決了維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司（簡稱“Veeco上海”）關于中微半導體專利無效的申請，確認中微半導體起訴Veeco上海專利侵權的涉案專利為有效專利。這次訴訟的勝利，被認為是中微和Veeco這次對決中階段性的關鍵勝利，未來中微還需要繼續跟進石墨托盤供應商德國SGL的問題。

對于專利復審委作出的審查決定，中微半導體董事長兼首席執行官尹志堯表示，作為一家向國際一流芯片和LED及功率器件生產廠商提供高端制造設備的供應商，中微半導體自2004年成立以來，一直高度重視知識產權，一向獨立自主開發技術和確立知識產權地位，同時也極其尊重客戶和競爭對手的知識產權；十多年來，中微半導體在幾次國內外知識產權訴訟糾紛中，經受住了考驗，一直處于不敗之地。

糾紛是常態，和解是必然

有專家分析，VEECO在石墨盤上的專利中微半導體無法繞過，在沒有解決專利問題前中微的客戶要求暫停發貨。中微對石墨盤需求量較大，目前市場上難以有新供應商在短期內滿足中微需求。和解是必然結果，半年內和解對三安、華燦影響較小。和解是VEECO和中國LED市場雙贏的結果。市場淡季的到來和二三線廠商擴產意愿的降低確保在未來6個月三安、華燦基本不受擴產受阻影響。

而澳洋順昌證券事務所代表則指出，即使在最壞的情況下，即中微與Veeco短期內無法達成和解，美國法院禁止SGL出售晶圓承載器給中微半導體及其客戶，中國法院又裁定Veeco不能在中國銷售相關的設備與部件，這種情況下對國內LED行業會產生巨大的影響。但因為公司目前裝備德國AIXTRON公司外延設備最多，所以對澳洋順昌光電的生產也不會產生不利影響，相比之下， 反而對澳洋順昌最為有利。

（來源：廣東LED）